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无尘烘箱/干燥箱

简要描述:

无尘烘箱/干燥箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。

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无尘烘箱/干燥箱产品介绍:
无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。
产品特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class100
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避
免烘烤时产生PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.AFilter20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
产品用途:
无尘工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
无尘烘箱/干燥箱产品参数:
1、箱体结构:
1.1烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成,结构合理,外观美观大方;
1.2全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
1.3箱体材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘;
1.4内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生PARTICLE;
1.5中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
2、温控系统
2.1采用日本OMRONE5A型温度控制器,控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定,精确度±0.3%FS。;
2.2讯号来源:采日制进口CA感应棒±0.5%。
2.3输出被控制组件:SSR无接点讯号输出。
3、完善的安全保护措施:
漏电断路器
控制线路保险丝装置
超温防止保护装置
电热过电流保护装置
马达过电流保护
机台异常蜂鸣器警示
逆向防止器
门面安全开关
4、选购设备:
4.1可程式温控器
4.2六点温度记录仪
4.3三色指示灯
4.4烘烤架

名称及型号

无尘烘箱WCHX-2D

无尘等级

Class100

温度范围

60~+300℃

温度均匀度

200℃±3℃、300℃±4℃

温度波动度

±0.5℃(空载)

温控精度

±0.1℃

电源

380v,50Hz,12Kw

烘箱搁板为活动形式

两箱式

如果您需要咨询无尘烘箱可以随时联系我们上海程造仪器设备有限公司,我们拥有多年的生产经验,能够很好保证产品的质量,我们这里所有的产品都签订正规合同并开具增值税专用发票或者普通发票,保证您的售前售后问题,您可以放心采购! 

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